loc-voc
泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性vocs气体,影响职业健康和产品良率。含有vocs的气体通过沸石,vocs被吸附,洁净气体排至车间,小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的vocs,排至vocs中央处理装置,集中处理达标排放。
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