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l/s
用途：对工艺机台排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通过高温氧化、还原反应，降低有毒物质浓度。
原理：工艺设备产生的并经过真空泵抽取的废气，通过l/s设备入口管道后被导入内部反应腔，废气在反应腔内分解，分解后形成的副生成物和水壁反应炉的水分反应后，直接流入循环水箱，被分解后的尾排气体及未分解的hcl、hbr、cl2等水溶性气体则通过洗涤部水洗后流至下游风管排出。
特点：适用于难以分解的含氟化合物或硅烷等有毒废气处理。废气处理性能高，可实现大容量处理；减少sio2等粉尘的堵塞和排放；急速升降温，开关机所需时间短；高节能、三种运行模式根据生产工况自动切换模式；停电时安全互锁，可防止设备损伤；设备尺寸小。
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