烟气调质最早于上世纪50年代起用于燃煤电站ESP性能优化中，通过向烟气流中引入SO3，降低颗粒物电阻，提高ESP性能，得到更好的除尘效果。德国施蒂雅格集团赫尔内发电厂于2004年引入SO3烟气调质系统，并购入一台SO3分析仪，用于烟气调质时SO3气体浓度的精确定量。通过对引入SO3气体浓度的测量，评估烟气调质系统和ESP的性能