随着信息技术的飞速发展，半导体产业作为电子工业的核心，呈现出蓬勃的发展态势。目前，半导体技术已经渗 透到通信、计算机、消费电子、汽车电子等多个领域，成为推动现代社会进步的重要力量。

项目背景

此次项目的业主是一家集芯片设计、晶圆制造和封装测试于一体的半导体企业，总部位于北京亦庄经济开发区。  2016年在北京投 建8英寸晶圆生产线，可迪尔凭借多年的VOCs治理经验和可靠的技术赢得客户信赖，为客户提供两套沸石转轮+TO工艺（一用一备），并和产线于2019年一同投运。自验收以来，系统稳定运行，持续达标  排放，满足国家排放要求。随着产能提升，现有系统（一用一备）无法满足生产需求，需要增加一套沸石转轮+TO系统，与现有系统组成两用一备，以满足正常生产。

废气参数

废气风量：50000m³/h

废气浓度：100mg/m³

废气成分：PGME、PGMEA、IPA、丙酮等非甲烷总烃

设计方案

01  治理工艺

治理工艺：沸石转轮浓缩+TO（与现有系统组合成两用一备）

浓缩倍数：20倍

02  工艺路线

废气经主工艺风机输送至沸石转轮，废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中。再由脱附风机输送的热空  气将VOCs从沸石中脱附出来，再由TO风机输送至TO反应器中，被氧化成CO2和H2O，达标排放至大气中。

喜迎验收

近日，该项目喜迎验收。

第三方检测机构对治理效果进行了全面检测和评估，治理后的非甲烷总烃排放浓≤7mg/m³，处理效率89%，满足上海市DB31/374-    2006《半导体行业污染物排放标准》，确保了半导体生产过程中的环境安全和健康。

可迪尔项目现场

未来，可迪尔将继续秉承“感恩、卓越、真诚、热爱”的企业理念，不断提升自身技术和服务水平，为更多企业和 行业提供高效、  可靠的VOCs治理解决方案，共同推动环保事业的发展。

可迪尔拥有独立的科研团队和设计团队，占总人数的30%以上，掌握全球先进的生态环境治理技术，在北京、上海、广州、天津、西安、太原、长沙、石家庄、郑州、成都、合肥、沈阳等地设有分支机构，国内建立两大系统 规模化的生产基地，用严格的品质 管控环节，服务中国，为用户持续稳定提供高品质的生态环境治理产品。