微电子行业收到计算机和电信市场扩展以及汽车,军事和工业电子市场不断增长的推动,发展速度非常迅速,由于微电子元件的生产越来越小,对水质的要求及其高,给工艺用水的净化带来了巨大的压力。

尤其在半导体的制造过程中需要消耗大量的水源,尤其是半导体制程需要使用超纯水,而制作超纯水的过程需要使用几倍的自来水,用水量相当惊人。

鉴于制造商Superfoss考虑了广泛的技术和策略,并根据客户规格彻底选择,为半导体行业的超纯水生产提供完整的解决方案。
应用领域:超纯水生产
Superfoss的解决方案
粗滤和精滤----海水淡化/脱矿质----消毒---加热/冷却
技术概况
介质过滤--活性炭---反渗透---电去离子---离子交换---抛光混床---超滤---紫外线消毒---紫外线(TOC降低)---超纯水监测



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