客户简介: 台资企业,国内知名的半导体封装与测试供应商,为广泛客户群提供专业的芯片载具类产品的封装与测试服务。
项目简介: 半导体行业超纯水项目,项目为百万级洁净室配套的超纯水系统,制取的超纯水用于芯片载具类产品生产封装的超声波清洗工序。系统采用成熟稳定的先进工艺,满足洁净室连续运行要求。
进水水质: 昆山市政自来水
出水标准: 电阻率 ≥18.2 MΩ·cm(25℃),TOC <3 ppb,颗粒物(≥0.1μm)<3 pcs/mL,水温 25±2℃
工艺系统核心:
采用“反渗透(RO)+ 连续电除盐(EDI)+ 抛光混床 + 终端超滤”多级组合工艺。
预处理单元(多介质过滤、活性炭、软化)去除悬浮物、余氯及硬度;
双级或高效RO膜脱除绝大部分离子及有机污染物;
EDI连续电除盐进一步稳定脱盐,避免化学品再生;
抛光混床精处理确保电阻率稳定 ≥18.2 MΩ·cm;
终端超滤(0.1μm或更小)严格控制颗粒物<3 pcs/mL;
系统配套TOC控制设计(如低溶出材料、UV等),保证TOC<3 ppb,水温恒定调节,满足百级洁净室超声波清洗用水需求。





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