思谱德（上海）科技有限公司

SIFT-MS（选择离子流管质谱）是一种无需色谱分离的直接质谱分析技术，可在复杂气体基体中实现挥发性有机物及关键工艺相关气体的实时定性与定量。与传统分析技术（如GC-MS、FTIR、CRDS）形成互补：SIFT-MS用于连续在线监测与多组分快速筛查，传统技术用于复杂体系确证与深度分析。该组合有效突破半导体制造中对实时性、多组分检测及低浓度污染物识别的限制，构建面向AMC监测、冷却剂泄漏预警及工艺异常诊断的高效分析体系。

快速：无需色谱分离，实现秒级响应与连续监测；支持多点采样与高频扫描，能够捕捉瞬态污染事件与早期泄漏趋势；

简便：直接进样，无需复杂前处理或样品转化；适用于CDA、大宗气体，特气，洁净室空气等多种复杂基体；

灵敏：自动化多试剂离子切换控制；检测限可达ppt级；在高湿及复杂背景下仍具稳定性；

全面：支持多组分同步检测：AMC污染物（VOCs、硅氧烷、无机物等）、冷却剂（HTF7300、Galden、R407c等）、工艺相关释放物