工业温压测量领域定制化解决方案服务商 

凯拓嘉业科技，深耕工业测量领域多年，以全域定制为核心导向，致力于成为压力、差压、液位、温度测量解决方案的专业整合服务商。我们深耕全系列产品的定制化设计、高效落地与全周期服务，深度整合行业优质资源与技术，为国内外各行业客户提供适配性强、稳定可靠的温压测量产品。旗下晓鸣 XM520 系列压力与温度产品，凭借务实创新技术，助力客户从容应对各类工业测量场景挑战，以专业实力赋能工业智能化升级，为客户创造可持续价值。

凯拓嘉业 VCR 超高纯气体压力变送器（半导体专用）

一、应用背景

半导体生产流程中，压力变送器需长期接触高腐蚀性、有毒性甚至自燃性（室温条件下易燃）的工艺气体。以硅衬底表面沉积层状材料的化学气相沉积（CVD）工艺为例，芯片微观电路制造步骤具有高度敏感性，对生产环境纯净度要求严格，需维持高洁净标准，同时从根源上规避气体泄漏风险，保障生产安全与产品良率。

二、产品设计理念

半导体生产对压力测量技术有严格应用标准，对应压力变送器需采用超高纯（UHP）专属设计。凯拓嘉业科技针对半导体行业特殊应用需求，定向研发适配该领域的 VCR 超高纯气体压力变送器，专为半导体行业超高纯气体系统打造。

三、核心产品特性

1、连接与密封：采用标准螺纹 VCR 接头或其他定制规格，实现低泄漏率；全系列产品均通过氦泄漏专项检测，重点检测变送器与现场应用的连接部位及密封节点，保障过程连接的密封性与安全性。

2、电气配置：提供 0-5VDC、0-10VDC、4-20mA 等多种输出类型，支持 M12、电缆连接等多种电气连接方式，适配不同现场应用需求。

3、材质与工艺：选用 17-4、316L、316L VIM/VAR 等多种不锈钢材质制造，腔体经钝化抛光处理，确保表面平整，具备良好的耐化学腐蚀性能。

4、生产环节全程依托百级洁净车间，洁净标准严苛；接液部分经电解抛光处理，表面光洁度 Ra≤0.25μm，洁净度出众，确保压力变送器以无污染状态交付至客户洁净室，适配半导体生产的严苛环境。

四、适用领域

产品可应用于半导体、高纯度气体系统、电子、医疗、生物技术及制药工业等领域。

凯拓嘉业科技XM520VCR产品

XM520VCR压力传感器用途遍及半导体工艺的气体各个监测系统

l 如半导体、光伏、显示面板行业高纯气体压力监测；

l 用于惰性气体、有毒有害气体、易燃易爆气体压力监测；

l 现场过程压力测量

l 吹扫气体传输系统压力测量

l 传送室压力测量和控制

l 洁净室空气控制

l 泄漏检测

l 通风柜控制

l 激光干涉仪

l 太阳能等新能源

l 用于OEM工具的气体面板

l 高纯介质和特殊气体系统（各种气体控制单元、大宗气体供应和储罐区安装）

凯拓嘉业科技XM520VCR产品特性：

l XM520VCR压力传感器 紧凑精巧，专为空间受限场景量身打造，安装灵活便捷。搭载 0.25% F.S. 高精度压力测量技术，辅以抗干扰屏蔽与信号降噪专属电子方案，既保障压力测量的精准度，更实现卓越长效稳定性。

l 产品采用全不锈钢结构，可靠性拉满，每台均经过 48 小时满量程保压测试，品质层层严控。生产环节全程依托百级洁净车间，洁净标准严苛；接液部分经电解抛光处理，表面光洁度 Ra≤0.25μm，洁净度出众。

l 适配多种 VCR 螺纹密封连接接头，内螺纹、外螺纹、固定螺纹、活动螺纹全覆盖，满足多元安装需求。接液材质精选17-4、316L、 316L (VIM/VAR) 不锈钢及 HC 材质，适配严苛工况。

l 智能化一键调零设计，大幅提升客户现场操作便捷性。

l 增安认证可选，合规适配更多场景。

l 全焊接结构搭配 VCR 过程连接，选材考究精良，兼具超强密封性与耐腐蚀性。为半导体领域高纯介质压力监测与测量打造，适配各类严苛应用需求。

l 超高纯压力变送机组装制造完成后，依次经过去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、精准烘干、双层包装、氮气充注密封等多道精细工序，方可出厂；同时完成氦气检漏，并在洁净室内完成真空包装，从源头杜绝污染。

凯拓嘉业科技XM520VCR基本参数：

被测介质:气体（对 316L 不锈钢不腐蚀的流体）

压力类型:密封参考压力、通气表压力

量程:复合压：-14.5 ～85.3psi，-14.5 ～235.3 psi，-14.5 ～ 985.3psi，-14.5 ～ 2985.3psi，

绝压：0-1000Torr

表压或绝压：0-25psi，0-50psi，0-100psi，0-250psi，0-500psi，0-1000psi，0-3000psi

供电电源:13-30VDC

量程范围： 或定制               

接头材质：17-4、316L、R316L（VIM+VAR）/ 哈氏合金

外壳材质：304/316L                                       

接液粗糙度：Ra≤0.25 μm（典型值）

精度（恒温下）：±0.25%F.S.，±0.5%F.S或定制.                

输出信号：4～20mA 、0～10VDC、0～5VDC可选择

工作介质温度:-20～+80℃

过程接口：1/4VCR，Female 9/16-18UNF(1/4*FVCR)、Male 9/16-18unf(1/4*MVCR)、1/4NPT Male                                          

电气连接：M12X1接插件

安全过载压力:150%FS （1.5 倍满量程）      

工作温度：-20~85℃

防护等级：IP67                                               

产品认证：Ex ec IIC T6 Gc

选型举例：

品牌：凯拓嘉业科技

型号：XM520VCR11C2-J1

规格参数 :

测量介质：三氟化硼

温度范围：常温

介质温度：常温

测量范围:-100kPA～20MPa

输出信号:4-20ma

供电：24V

测量精度:0.5%    

螺纹接口：1/4VCR外螺纹

电气连接：M12X1航空插座（带槽）

Note: all designs and specifications are for reference only and is subject to change without prior notice.

注：所有设计及规格参数仅供参考，如有更改恕不另行通知。