点击图片查看原图高达400*300个采样点，具备强大的局部畸变测试能力，降低测量不准确性和噪声；同时得到高精度强度分布图。
2. 消色差：
干涉和衍射相结合抵消了波长因子，干涉条纹间距与光栅间距完全相等。适应于不多波长光学测量且不需要重复校准，
3. 可直接测量高动态范围波前：
可见光波段可达500μm的高动态范围；可测试离焦量，大相差，非球面和复曲面等测。
应用方向：
1. 激光光束测量
可以实时测量强度相位（2D/3D）信息，Zernike/Legendre系数，远场，光束参数，光束形状M2等。
2光学测量
SID4波前传感器可对光学系统和元器件进行透射和反射式测量，专业Kaleo软件可分析PSF,MTF等
3.光学整形：
利用SID4波前传感器检测到准确的波前畸变信息，反馈给波前校正系统以补偿待测波前的畸变，从而得到目标波前相位分布和光束形状。右图上为把一束RMS=1.48λ的会聚光矫正为RMS=0.02λ的准平面波；右图下为把分散焦点光斑矫正为准高斯光束。高频率大气湍流自适应需要配合高频波前分析仪。
4.光学表面测量：
SID4软件可以直接测量PtV, RMS, WFE和曲率半径等，可直接进行自我校准，两次测量相位作差等。非常方便应用于平面球面等形貌测量。部分测量光路如右图所示
5.等离子体测量
SID4系列等离子体分析仪(Plasma Diagnosis)是一款便携式、高灵敏度、高精度的等离子体分析仪器。该产品可实时检测激光产生的等离子体的电子密度、模式及传播方式。监测等离子体的产生、扩散过程，以及等离子体的品质因数。更好地为客户在喷嘴设计、激光脉冲的照度、气压、均匀性等方面提供比较优化的数据支持。
附：夏克哈特曼和四波横向剪切干涉波前分析仪对比表
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SID剪切干涉 |
夏克哈特曼 |
区别 |
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技术 |
四波侧向剪切干涉 |
夏克-哈特曼 |
SID4是对夏克-哈特曼技术的改进，投放市场时，已经申请技术专项，全球售出超过500个探测器。 |
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重建方式 |
傅里叶变换 |
分区方法（直接数值积分）或模式法（多项式拟合） |
夏克-哈特曼波前探测器，以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元，可能会增加信号误差，在某些情况，产生严重影响。在分区方法中，边界条件很重要。 |
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光强度 |
由于采用傅里叶变换方法，测量对强度变化不敏感 |
由于需要测量焦点位置，测量对强度变化灵敏 |
关于测量精度，波前测量不依赖于光强度水平 |
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使用、对准方便 |
界面直观，利用针孔进行对准 |
安装困难，需要精密的调节台 |
SID4 产品使用方便 |
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取样（测量点） |
SID4-HR达300*400测量点 |
128*128测量点（微透镜阵列） |
SID4-HR具有很高的分辨率。这使得测量结果更可靠，也更稳定 |
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数值孔径 |
SID4 HR NA：0.5 |
0.1 |
SID4-HR动态范围更高 |
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空间分辨率 |
29.6μm |
>100μm |
SID4-HR空间分辨率更好 |
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灵敏度 |
2nmRMS |
约λ/100 |
SID4-HR具有更好的灵敏度 |
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