等离子光氧一体机是一种专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置，等离子光氧一体机具有高效率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，等离子光解一体机净化设备净化效率在95%以上。是目前市场上有效的废气净化设备。

当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。