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往复真空泵的活塞是运转部件，因此活塞的磨损是避免不了的，随着检修次数的增加工作真空度将不断下降，直至满足不了生产的要求。它的工作噪音大，耗油量大，故障率高，一般都需要开一台备用一台，这无形中增加了设备投资与运行费用。另外如果用它抽吸水蒸汽等气体，将使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不凝性（空气类）气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质。
水环真空泵虽然可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体，但是它的工作真空度低、不能抽吸带有颗粒状的介质、也不易做防腐蚀处理。
水喷射真空泵可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体和带有颗粒状的介质，腐蚀性介质。
水环真空泵虽然可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体，但是它的工作真空度低、不能抽吸带有颗粒状的介质、也不易做防腐蚀处理。
水喷射真空泵可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体和带有颗粒状的介质，腐蚀性介质。
水喷射真空泵以其节水、节电、节油、结构简单、操作方便、无运转部件维修量小等优点替代进口水环真空泵和机械式真空泵越来越广泛的应用在各行业中。
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