苏州活性炭吸附设备实惠物美常州天之尚环保有限公司专业从事皮革废气处理安装,集研发,设计与施工一体的环保公司,丰富的行业经验,专业技术团队,免费方案设计!

( 1） 废气流量-( 2 ） 污染物浓度-( 3 ） 废气温度 、湿度，挥发性有机废气：VOCso．一、有机废气的特点·大多数有机污染物是对人体健康有害·中毒的大多症状表现为 ：呼吸道疾病多为积票性·若有机污染物的浓度过高可能会造成急性中毒甚至死亡·有些有机物会引起皮肤病·有些具有致癌性·恶臭类物质影响呼眼系统、循环系统、消化系统和生殖系统1.较高浓度 ，成分单一或类似回收能产 生经济效益。
2. 成分复杂无 回收价值。
来表示该值，则大约为 0.4 % 。即，上述结果表示 ，装置的设置面积增加 很多。
（产业上的可利用性）本设备 的处理剂 ，并不限定于由半导体制造装置排出 的废气，也使用5于含有同样的有害气体成分 的废气的净化。
废气处理剂、废气处理方法以及废气处理装置5技术领域本设备涉及用于除去由半导体制造装置等排出的废气中含有的氧化 物为固体的氢化物、氟化物、氯化物等卤化物 （ 以下，将这些统称为有害 气体成分> 的废气处理剂以及使用该废气处理剂的处理方法及处理装置 。
10本申请，对于2004 年 1 月 29日申请的特愿 2004 一020976 号主张优先权，在此引用其内容。
背景技术在由半导体制造装置排出的废气中，含有 CF4、C2F6、SiF4、SF6 等氟15化物气体或者 BC13, AsCls 等氯化物等 卤化物气体或者 PH3 、Si、GeH4、 As町等金属氢化物气体 。
由于这些的氟化物、氯化物等卤化物以及金属氢化物气体是有害的，从而将废气向外部排出时，需要将这些有害气体成分除去。因此，以往提 出了利用各种吸附剂，除去这样的有害气体成分的方法。
20然而，在利用吸附剂的除去中，由于以吸附剂的表面部上的物理 、化 学吸附反应为主 ，因此吸附剂单位量对应的处理量少，需要大量的吸附剂。 此外，对处理后的吸附剂进行废弃处理的情况下，也存在必须实施特别的 废弃处理 ，以防止吸附的有害气体成分脱离而发生再污染等不妥善情况 。 另一方面，也提出了利用反应剂的除去的技术，但在反应除去中，由于以25表面多原子层上 的反应为主，因此反应剂单位 量对应的处理量少，需要大 量的反应剂。
为 了解决该 问题，在特开平 10-15349 号公报中，公开了 由煤、活性炭 等碳质固体材料与钙、银等碱土族金属化合物构成的反应剂。
然而，在该反应剂中，由于碳质固体材料与碱土族金属以大致相等量30来混合，因此，例如，即使碱土族金属的反应效率成为 90 % 左右，但反应剂整体上的反应效率不足 50 % ，其结果 ，存在所谓 的反应剂的更换频率增 加的问题。
文献：特开平 10一 15349 号公报5设备内容本设备鉴于此 ，其 目的在于提供一种作为除去 由半导体制造装置等排 出的废气中含有的有害气体成分的废气处理剂，处理剂单位量对应的处理 量多，能够以少量的处理剂进行大量的废气处理 ，并且在对处理后的处理 剂进行废弃处理时，也不需要实施特别的废弃处理 的废气处理剂。
10为 了达到相关目 的，本设备 的*方式是一种废气处理剂，呈粒状， 且具备多孔质结构，该废气处理剂的特征在于，包括 ：占据其表面的至少 一部分的氢氧化钙 、以及 占据剩余部分的氧化钙。
在上述废气处理剂中，作为优选，上述氢氧化钙 占据上述废气处理剂 的 2070 重量% 。
15上述废气处理剂，优选具有 lm2/g以上的比表面积。
上述废气处理剂，优选具有 1050 体积% 的空隙率。 上述废气处理剂，也可以将粒状的碳酸钙烧成而得到 。 上述废气处理剂，也可以将成型为粒状的氢氧化钙而得到 。 上述废气处理剂，也可以将氧化钙通过水合反应 ，转换成氢氧化钙之20后，对该氢氧化钙进行烧成而得到 。
本设备的第二方式是 ，一种废气处理方法 ，其特征在于 ，使废气以气 态与上述*方式的废气处理剂接触 ，上述废气含有属于元素 周期表的 Illb 族、IVb族 、或者 Vb 族的元素的氢化物及／或卤化物。
本设备的第三方式是一种废气处理装置 ，其特征在于，具备填充有上25述*方式的废气处理剂而成的反应除去部 。
优选在上述废气处理装置中 ，以 30 70 体积%的空隙率填充有所述 废气处理剂。

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(1) 폐기 유량 (2) 오염물 농도 - (3) 폐기 온도, 습도, 휘발성 유기 폐기: VOCSO. 1, 유기농의 특징 · 대다수 유기오염물은 인체 건강에 유해 · 중독에 대한 대부분의 증상이 나타나고 있다. 호흡기 질환의 질병과 유기농 오염 물질의 농도가 지나치게 높으면 될 수 있다성 · 급성 중독, 심지어 사망 · 일부 유기농 · 일부 유기물들은 피부병 · 발암성 · 악취류 물질적 영향을 미칠 수 있다, 호안 시스템, 순환시스템, 소화 시스템, 생식 시스템 1. 높은 농도, 성분의 단일 또는 유사한 회수에서 경제 효율을 일으킬 수 있다.
2. 성분은 복잡하게 회수할 가치가 없다.
이 값을 나타내는 것은 약 0.4 퍼센트다.즉, 상술한 결과 장치의 설치 면적이 많이 늘었다고 한다.
이 설비의 처리제는 반도체 제조 장치가 배출한 폐기가 한정되어 있지 않고, 같은 유해가스 성분을 5 번 함유하고 있는 폐기 정화까지 사용합니다.
폐기 처리제, 공기 처리 방법 및 폐기 처리 장치, 5 기술 분야에 본 설비를 포함하여 반도체 제조 장치 등 배출된 폐기 에서 함유된 산화물 을 고체 수소 화학, 불화 물, 염화 화학 물질 (이하, 함칭 가스 성분) 이라고 통칭한 폐기 처리제를 포함한다.이 폐기 처리제 처리 방법 및 처리 방법 및 처리 장치.
10 권의 신청은 2004 년 1 월 29 일 신청한 특원2004 년 1 월 29 일 특원2004 년 1 월 9,20970 번지에 대해 우선권을 주장하며 그 내용을 인용해 왔다.
배경기술은 반도체 제조 장치에 의해 배출되는 폐기 중 CF 4, C 2 F 6, 씨F 6, SF 6 등 불소 15 화물가스, BC 13, AsCls 등 염화화물 가스나 PH 3, Si, GH 4, As 시가지 등 금속수소물 기체를 포함한다.
이 불화 화학 물질, 염화 화학 물질 및 금속 수소 화합물 기체 는 해로운 것 으로, 폐기 를 외부 로 배출할 때 이 유해 기체 성분 을 제거해야 한다.이 때문에 여러 가지 흡착제를 이용하여 이런 유해한 기체 성분을 제거하는 방법을 제기 했다.
20. 그러나 흡착제 제거제를 이용한 흡착제로 표면부에 있는 물리 화학 흡착 반응은 흡착제 단위량에 대응하는 처리 양이 적어서 대량의 흡착제 가 필요하다.이 밖에도 처리 후 흡착제로 폐기 처리를 하는 경우에도 특별한 폐기 처리를 해야 하며, 흡착된 유해가스 성분의 탈탈 방지를 위한 재오염 방지 등 적절하지 않은 경우가 있다.한편 반응제를 이용한 제거 기술도 제기하지만 리액션을 제거하는 가운데 25 표면 다원자층 반응에 반응하기 때문에 반응제 대응 처리가 적고 대량의 반응제가 필요하다.
이 문제를 해결하기 위해 특 10 - 15334 공보에서 석탄, 활성탄 등의 탄질 고체 재료와 칼슘, 은과 등 알칼리 토족 화합물에 대한 반응제를 공개했다.
그러나 이 반응제 중 탄소 고체 재료 와 알칼리 토족 금속 을 대략 30 대 에 섞은 것 으로, 예 를 들 면, 예 를 들 지만, 예 를 들 면 염소 족 금속 의 반응 효율 이 약 90 퍼센트 정도 되 지만, 반응 제 의 반응 효율 부족 이 50 퍼센트 부족 한 결과 는 결과 는 이른바 반응제의 교체 주파수 가 증가 하는 문제....
문헌: 특개평 10 일 153,4,4,4,4,115,4,15,15,15,15,15,15,15,5,3,4,5,3,4,5,3,4,5,3,5,4,5,5,3,5,4,5,5,3,5,5,4,5,5,5,5,5,5,3,5,5,5,5,3,5,5,3,5,5,09,09,09,09,09,09,09,09,09,096,96,096,46,0666464646464646464646474747474,06066464646464646464646464646가스 처리, 처리 후 처리제에 대한 폐기 처리를 할 때도 특별한 폐기 처리를 위한 폐기 처리제를 실시하지 않는다.
10 관련 목적 에 도달하기 위해 본 설비 의 첫 방식 은 일종 의 일종 의 폐기 처리 소, 입체 상태 를 구비 하 고, 다공질 구조, 이 폐기 처리제 의 특징 을 포함: 포함: 그 표면 의 최소 일부분 의 수소 산화 칼슘, 나머지 부분 점거 산화 칼슘 이다.
상술한 산화 칼슘은 상술한 폐품 처리제 중, 상술한 수소칼슘은 상술한 폐기 처리제의 2070 무게의 무게를 차지한다.
15 위 폐기처리제, 우선은 lm 2 / g 이상의 표면면적을 최적으로 선택한다.
상술한 폐기 처리제, 최적용 1050 체적% 의 빈틈이 있습니다.이 폐기 처리제는 탄산 칼슘을 태워 얻을 수 있다.상술한 폐처리제 또한 입형 소립으로 된 수소 산화 칼슘도 얻을 수 있다.상술한 폐처리제는 산화 칼슘을 수합반응을 통해 수소칼슘의 20 으로 전환해 수소 산화 칼슘을 분화시켜 얻어낼 수 있다.
이 설비 제 2 방식 은 일종 의 폐기 처리 방법 을 특징 은 폐기 와 상기 첫 번째 방식 의 폐기 처리제 접촉 에 따 르 면 원소 주기표 인 Illlb 족, IVB 족, 또는 Vb 족 의 원소 및 / 또는 할로겐화 물 이다.
이 설비 제 3 방식 은 일종 의 폐기 처리 장치, 그 특징 에 따 르 면 25 번 의 첫 방식 의 폐기 처리제 로 이루어진 반응 을 제거하는 것 이 특징 이다.
이 같은 폐기 장치에 우선은 30 70 부적% 의 빈틈을 타서 일부 폐기 처리제를 채워준다.