【湘潭宏锋机械SP-9000】ITO真空镀膜磁控溅射镀膜生产设备

ITO膜镀膜生产线是在**浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以国际先进的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动，连续进行。

 ITO（Indium Tin Oxides）作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。本镀膜设备是在**浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以国际先进的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动，连续进行。ITO膜镀膜生产线技术特点
1) 真空室体材料采用 SUS304 ，真空室内壁进行抛光处理，外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计，它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好，更耐用。
3) 传动采用磁导向，保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。
4) 电气控制系统：触摸屏与 P L C 自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制技术参数
1) 极限真空压力：6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生产周期：根据产品确定
3) 基片架尺寸：可以根据要求定做
4) 膜层均匀性: ± 3％先进的移动磁场技术大大提高了靶材利用率
分段式加热设计，有利于工艺优化。产品广泛地应用于液晶显示器(LCD)、触摸屏、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。