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等离子废气净化器工作原理：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统。具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。
等离子废气净化器内部装有碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多种气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的气体被电场内所产生的臭氧所，并去除了异味，气体被除掉，达到废气处理的目的。
等离子废气净化器可以处理多种工业VOC废气。
等离子废气净化器对于间歇性和持续性废气排放空间的适应性强，是在引风机的压力作用下，可以提高废气的净化过滤效率。
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