一级用水，电阻要求大于10MΩ（电导率低于0.1us/cm）,主要用于有严格要求的分析试验，包括对颗粒有要求的试验。如高压液相色谱分析用水。一级水常用二级水经过石英设备蒸馏或反渗透及离子交换混合床处理后，再经过0.2μm微孔滤膜过滤来制取。二级用水，电阻要求大于10MΩ（电导率低于0.1us/cm）,主要用于无机痕量分析等试验，如原子吸收光谱分析用水。二级水可用多次蒸馏或反渗透及离子交换等方法制取。三级用水，三级水用于一般化学分析试验。三级水可用蒸馏或离子交换等方法制取。
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