FFU风机(FanFilterUnit)简称:FFU,是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备"。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式"垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
FFU风机规格参数
型号Modeltype | K-F2AHG | K-F2BHG | K-F2CHG | ||
模组尺寸Modulesize(mm) | 1175*1175*230 | 1175*1175*350 | 1175*1175*220 | ||
风量Airquangtity(m3/h) | 1400 | 2350 | 800 | ||
机外静压Extemalstaticpressure | 50 | 50 | 50 | ||
主体 Mainbody | 标准型Standard | 铝锌合金板Galvanium | |||
其它特性 Option | 不锈钢板Stainlesssteel(SUS430) | ||||
电解板Electrolyticsheet | |||||
亚铅铁板Galvanizedsheetiron | |||||
铝合金板Alumininumalloysheet | |||||
电源 Powersupply | 标准电源 Standard(V/Hz) | 220V50/60Hz | |||
其它电源 Option(V/Hz) | 如有其它特殊电源需求请与我们! | ||||
滤网 Filter | 效率 Efficiency | HEPAOver99.99%atparticlediameterover0.3μm | |||
ULPAOver99.9995%atparticlediameterover0.1μm | |||||
框架Frame | 铝框Aluminum | ||||
功耗 Powerdissipation(w) | 120 | 245 | 90 | ||
重量Weight(kg) | 25 | 45 | 15 | ||
震动值Shock(m/s2) | ≦0.4 | ≦1.1 | ≦0.4 | ||
噪音(L)Noise(db(a)) | 46-52 | 48-54 | 46-52 | ||
选配品Option | 压差计(Differentialdraftgauge)遥控器(Remotecongtrol)吸入口法兰(Ductflangeforsuctionair)初效过滤网(Pre-filter) |
深圳特点
*:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。