四极质谱计的检漏方法以分子泵为主抽泵，三极式钛离子泵为辅助泵的金属超高真空系统为例，泵对真空室部分的有效抽速约为50升／秒，该系统专为真空器件放气特性测试而设计。四极质谱计有倍增器和法拉第筒两种接收方式，设二个质量量程，分别为1－50和2－200原子质量单位，进行检漏工作时用低质量数量程。迅达真空泵主要操作原理说明如下：1.全质量量程扫描，判断真空残气状态当真空系统压强低于1×10－3Pa后，可开启质谱计（本文用倍增器接收离子流，以获得高的灵敏度和检测速度），测试1－50质量数量程的全谱图说明真空系统的气氛质量。M为18的水峰为主峰，说明真空残气是水，系统必须进行烘烤除气，待水峰明显下降后，再进行有无漏气的详细判断。新装的真空系统，往往有极强的水峰存在。如果元件没有进行干燥预处理，水峰高度可占有所有峰高和的百分之90以上。除高强度的水峰存在外，其它的质谱峰几乎都是碳氢化合物的碎片峰，它们来自各种残留有机洗液、返流的泵油蒸汽。高分子量的碳氢化合物在质谱计离子源中会裂解成许多低分子量碎片，它们将以密集的群谱形式出现，zui强的群出现在低质量数端，如12－16，28、40和55附近，质量数越高，峰强越弱。一个还没有烘烤足够的真空系统的典型残气质谱图，它的残气主要为氢、水和各种碳氢化合物的碎片峰，单据该图还不能判断有无漏孔存在。

　　如果真空系统的极限压强大于10－3Pa量级，一般是管道法兰密封安装不准确或管道有很大的漏孔。这种量级的漏孔，一般没有必要用质谱检漏，可方便地用酒精、丙酮等化学溶剂进行涂擦式检漏。这种涂擦式检漏，直观、易控制。当溶剂涂擦到漏孔部位时，溶剂分子通过漏孔进入真空室内，与电离真空计进行反应（灯丝热分解和电子碰撞分解），表现为规管灵敏度增高，使规管压强读数值增加，从而确定漏点。我们用质谱计监测了这个过程，溶剂分子通过漏孔时，因是液体，流量比空气小，致使真空计压强指示值先变小，然后随液体流量逐渐增加，造成压强指示值重新增加到一个稳定值。这个变化过程有1－2秒之长，在质谱图上没有发现溶剂分子有明显的流动延时过程，压强读数增加值变量大于减值，可相差5倍以上。漏孔大，差值大。

　　迅达真空泵厂通过实验表明，丙酮的灵敏度（压强指示增加值变量）比酒精高3倍左右，变化过程典型明显。酒精易造成漏孔的堵塞，漏孔小时变化过程不明显，甚至只出现压强指示值减小过程。与质谱检漏法反复对比，证明在真空系统压强值约接近1×10－5Pa时，折合漏率在2×10－3PaL／S时，液体示漏法已失效。要重复测试时须吹热风以排除剩余溶剂。丙酮易挥发，重复测试方便。检漏操作时，应尽量减少溶剂分子进入系统内的流入量，造成额外的对真空系统的碳氢化合物污染。在压强高于10－4Pa量级时，我们原则不*用质谱计直接验漏，一是液体检漏法很直接可靠；二是初装真空系统，一般是压强高、碳氢化合物污染重，质谱计在这样的条件下工作时电极易污染，会显著缩短质谱管清洗周期；三是在这种不良气氛下，很难获得良好的检漏导向能力。　

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