中环真空泵告诉您:密封问题是影响涡旋真空泵极限真空度的主要因素,压缩气体会通过侧向间隙和轴向间隙返流,这就需要采用轴向和径向密封来减少气体返流。涡旋真空泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即齿顶密封,和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。由于涡旋真空泵的型线特性,吸气腔与排气腔没有直接相连,中间存在压缩腔,所以相邻工作腔间的压差不大,较易密封气体。
一、轴向间隙和齿顶密封
轴向间隙为动涡旋盘齿顶端与静涡旋盘盘面以及静涡旋盘齿顶端与动涡旋盘盘面之间存在的间隙。常在动涡旋盘和静涡旋盘的齿顶面上开设与涡旋齿型线相同的涡旋槽,并在涡旋槽内嵌入特种材料的密封条来密封。由于密封条与涡旋盘盘面之间存在相对运动,所以要求密封材料具有耐磨、耐高温的特性。涡旋齿高度的加工误差,动涡旋盘和静涡旋盘的安装误差,涡旋齿的热变形,双面泵中动涡旋盘面两端的压力差等都会引起轴向间隙的变化,这要求密封材料具有一定的弹性和强度,补偿间隙的变化。目前常用的密封材料为掺入特殊材料的聚四氟乙烯混合物。为了保证涡旋齿齿端的强度,涡旋槽不要太深。涡旋泵结构设计应易于动、静涡旋盘的拆卸,当*运转后,密封条不满足密封要求时,可以较方便的进行替换。
二、径向间隙和齿侧密封
径向间隙为动涡旋齿和静涡旋齿间啮合处的间隙。齿侧密封即为两压缩腔之间的间隙密封,密封范围从zui小间隙处开始,沿顺时针、逆时针各旋转0.3π。径向间隙过大,密封效果不好影响极限真空度;径向间隙过小,涡旋齿之间会产生摩擦甚至胶合,破坏动、静涡旋齿壁面。径向间隙会随工况而变化,设计者可先通过计算机模拟涡旋齿随温度的变形状态,然后再通过修正涡旋齿壁厚,使泵在达到工作温度时,径向间隙*,以此来减小泄露,达到密封的目的。
极限真空度是涡旋真空泵的主要性能指标,齿顶密封和齿侧密封是影响极限真空度的主要因素。密封效果主要受加工精度、材质和表面处理等因素决定,所以提高加工精度,改善涡旋盘材料,合理的表面处理可提高密封效果,这需要较多领域的专家合作,共同努力实现。
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