反渗透纯水设备中的紫外线杀菌主要是利用254纳米波长的紫外线光。此波长的紫外线光，即使是在微量的紫外线投射剂量下，也可以破坏一个细胞的生命核心——DNA，因 此阻止细胞再生,丧失再生能力使细菌变得无害，从而达到灭菌的效果。象所有其它紫外线应用技术一样，这种系统的规模取决于紫外线的强度（照射器的强度和功 率）和接触时间（水、液体、或空气暴露在紫外线下的时间长短）。
降低总有机碳量，反渗透纯水设备在很多高技术和实验室装置中，有机物会妨碍高纯度水的生产。有很多方法可以把有机物从水中清除掉，较常用的方法包括使用活性炭和反渗透。波长较短的 紫外线（185纳米）也可以有效地降低总有机碳量（值的一提的是这些放射器也产生254纳米波长的紫外线，因此可以同时进行消毒）。波长较短的紫外线具有 更多的能量，因此能够分解有机物。紫外线氧化有机的反应过程虽然非常复杂，其主要原理是通过产生氧化能力很强的自由氢氧，将有机物氧化成水和二氧化碳。和 臭氧清除系统一样，这种降解有机碳的紫外线系统的紫外线放射量是传统消毒系统的三到四倍。
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