产品特点

水含量＜0.1ppm

氧含量＜0.1ppm

泄露率＜0.001vol%/h

电磁阀模块化设计

SIMENS微处理控制器

HEPA高效过滤器

变频节能控制系统

多重预警功能提示

除烟尘系统

配置大过渡舱真空加热烘箱

产品用处

1、半导体工业中MOCVD技术

2、特种灯（HID）开发与生产

3、微电子、激光及等离子焊

4、OLED/PLED开发与生产

5、锂离子电池开发与生产

6、无机/有机化学研究

7、金属卤化物/金属粉末/陶瓷粉末研究

8、纳米材料研究

9、催化剂研究

10、YAG激光焊接

11、食品微生物检验

12、医疗卫生临床标本检验