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氮气纯化装置（碳载型）
即利用物理或化学的方法,出去氮气中杂质装置的总称。目前工业上氮气除杂主要除去的是氮气中的氧气，以提高氮气的纯度。
简述：首先利用PSA变压吸附制氮机制取纯度为99.9%的氮气，将氮气通入氮气纯化装置中，从而使氮气纯度达到99.999%以上，在一定的温度下，氮气中的残氧和脱氧剂发生反应，从而除去氮气中的氧，经过除氧后的气体经过冷却器、干燥器脱除，使氮气露点温度（水含量）达到-60℃以下；干燥器配置两台，其中一台干燥器进行吸附干燥，另一台把已吸附饱和水气的干燥器进行再生，为下一周期吸附工作做好准备。经干燥后的氮气通过过滤器除尘，最后得到的便是高纯氮气。氮气纯化即无氧纯度（O2≤5PPm，CO2≤5PPm，最高脱氧深度可达5PPm以内
以碳为脱氧剂（T3093)，对99.9%纯度的氮气进行脱氧纯化。
优点：1、装置可靠性高：整个工艺过程工作温度为250℃-350℃，在此温度下的设备工作不受其余影响，高纯氮气供应平稳；
2、装置运行工业安全性高：氧与脱氧剂反应生成不活泼气体，在低压和温度不高的情况下不会对工业安全造成影响；
3、残余物合理处理，不影响高纯氮气品质：氧与脱氧剂反应生成的的不活泼气体、水分经过干燥器处理后基本可去除。
2、装置运行工业安全性高：氧与脱氧剂反应生成不活泼气体，在低压和温度不高的情况下不会对工业安全造成影响；
3、残余物合理处理，不影响高纯氮气品质：氧与脱氧剂反应生成的的不活泼气体、水分经过干燥器处理后基本可去除。
缺点：1、造价较高；
2、消耗品每月或者半年添加一次碳；
3、反应温度及加热功率高。
2、消耗品每月或者半年添加一次碳；
3、反应温度及加热功率高。
工艺流程图：
设备简化图：
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