WSPS-13.56系列固态射频电源使用与等离子加工, PECVD,HDPCVD等的应用。
特点
高稳定性 l 频率13.56 MHz ,稳定度 ±250KHz l 功率稳定度 ±1.5% l 正常功率范围 | |
高可靠性 *基于微处理器 *自适应负载 *适应负载开路
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其它功能 *正向功率调整 *负载功率调整 *自动频率调整
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失配功率输出 VSWR WSPS-13.56-1000 WSPS-13.56-2500 WSPS-13.56-5000 1.1:1 1000 W 2500 W 5000 W 2.0:1 800W 2000 W 3250W 3.0:1 650W 1500 W 2000 W |
Ordering Options
Model | WSPS-13.56-1000 | WSPS-13.56-2500 | WSPS-13.56-5000 |
额定输出功率 | 1000 W | 2500 W | 5000 W |
频率稳定度 | 13.56MHz ±0.005% | ||
动态功率范围 | 10 - 1000W | 10 - 2500W | 10 - 5000 W |
五载阻抗范围 | 开路 | ||
谐波输出&是真 | < -40dBc | ||
负载失配保护 | 自动;反向功率达到预设水平后正向功率**0.25毫秒调整为 ≤ 16% 额定功率. | 自动;反向功率达到预设水平后正向功率**0.25毫秒调整为 ≤ 16% 额定功率 | |
误差范围 | > 125 W: ±1.5% SP < 125 W: ± 3.0 W | > 250 W: ±1.5% SP < 250 W: ± 6.0 W | > 500 W: ±1.5% SP < 500 W: ± 10.0 W |
输入电源 | 220/100 VAC, 2/PE~ (2W+G) 14 A/PHASE | 220/100 VAC, 2/PE~ (2W+G) 14A/PHASE | 380/400 VAC, 3/PE~ (3W+G) 15 A/PHASE |
冷却方式 | 水冷。 +5°C to +35°C下,水流速度最小为 2.0 Gal./Min. (7.6LPM). 连接为 3/8” (NPT) 外管螺纹 | 水冷。 +5°C to +35°C下,水流速度最小为 2.0 Gal./Min. (7.6LPM). 连接为 3/8” (NPT) 外管螺纹 | |
功率显示 | 数码显示屏显示频率,正向功率,反射功率 | ||
安全标准 | NRTL 条例: UL3111-1 (1994) CAN/CSA C22.2 No.1010.1-92 EN61010-1:1993; A2:1995 | ||
EMC 标准 | EN50081-2: 1992 EN50082-2: 1995 | ||
重量 | 32.5 lbs. (14.8 kg) | 55 lbs. (24.9 kg) | 91 lbs. (41.3 kg) |
尺寸 (H x W x D) | 3.5” x 19” rack mount x 20.0” (89 x 483 x 508 mm.) | 5.25” x 19” rack mount x 20.5” (133 x 483 x 521 mm.) | 8.72” x 19” rack mount x 22.1” (221 x 483 x 560 mm.) |
远程接口连接 | 标准: RS-232 超小型-D 9-pin 数码; 客户可自选接口类型. | ||
RF 输出接头 | N | HN |