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WSPS-13.56MHZ 固态射频电源|沃特塞恩

规格型号:WSPS-13.56MHZ

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品牌:
沃特塞恩
产品分类:
应用领域:
--
用户类型:
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成都沃特塞恩电子技术有限公司

普通会员

四川

原厂/生产商/品牌方

  • 产品详情



WSPS-13.56系列固态射频电源使用与等离子加工, PECVD,HDPCVD等的应用。

特点

高稳定性       

l  频率13.56 MHz ,稳定度 ±250KHz

l  功率稳定度 ±1.5% 

l  正常功率范围

高可靠性

*基于微处理器

*自适应负载

*适应负载开路


其它功能

  *正向功率调整

*负载功率调整


    *自动频率调整

失配功率输出

VSWR    WSPS-13.56-1000    WSPS-13.56-2500 WSPS-13.56-5000

1.1:1   1000 W     2500 W  5000 W

2.0:1    800W  2000 W  3250W

3.0:1    650W      1500 W  2000 W

Ordering Options

 

Model

WSPS-13.56-1000

WSPS-13.56-2500

WSPS-13.56-5000

额定输出功率

1000 W

2500 W

5000 W

频率稳定度

13.56MHz ±0.005%

动态功率范围

10 - 1000W

10 - 2500W

10 - 5000 W

五载阻抗范围

开路

谐波输出&是真

< -40dBc

负载失配保护

自动;反向功率达到预设水平后正向功率**0.25毫秒调整为 ≤ 16% 额定功率.

自动;反向功率达到预设水平后正向功率**0.25毫秒调整为 ≤ 16% 额定功率

误差范围

> 125 W: ±1.5%

SP < 125 W: ± 3.0 W

> 250 W: ±1.5%

SP < 250 W: ± 6.0 W

> 500 W: ±1.5%

SP < 500 W: ± 10.0 W

输入电源

220/100 VAC, 2/PE~ (2W+G) 14 A/PHASE

220/100 VAC, 2/PE~ (2W+G) 14A/PHASE

380/400 VAC, 3/PE~ (3W+G) 15 A/PHASE

冷却方式

水冷。 +5°C to +35°C下,水流速度最小为 2.0 Gal./Min. (7.6LPM).  连接为 3/8” (NPT) 外管螺纹

水冷。 +5°C to +35°C下,水流速度最小为 2.0 Gal./Min. (7.6LPM).  连接为 3/8” (NPT) 外管螺纹

功率显示

数码显示屏显示频率,正向功率,反射功率

安全标准

NRTL 条例: UL3111-1 (1994) CAN/CSA C22.2 No.1010.1-92 EN61010-1:1993; A2:1995

EMC 标准

EN50081-2: 1992 EN50082-2: 1995

重量

32.5 lbs. (14.8 kg)

55 lbs. (24.9 kg)

91 lbs. (41.3 kg)

尺寸

 (H x W x D)

3.5” x 19” rack mount x 20.0”

(89 x 483 x 508 mm.)

5.25” x 19” rack mount x 20.5”

(133 x 483 x 521 mm.)

8.72” x 19” rack mount x 22.1”

(221 x 483 x 560 mm.)

远程接口连接

标准: RS-232 超小型-D 9-pin 数码; 客户可自选接口类型. 

RF 输出接头

 N

 HN

 


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