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在多晶硅生产中，原料中的硼、磷主要以三氯化硼和形式存在，影响产品质量。在多晶硅中除硼、除磷可使用一直对硼或磷具有高选择性的螯合树脂，螯合树脂上的功能基团同硼或磷形成稳定的配位体，在合理的设计工艺条件下，可实现将液体三氯氢硅中硼或磷含量从上千ppb降低到5ppb以下，从而达到除硼、除磷的目的。多晶硅原料通过螯合树脂除硼、除磷，可以为精馏工段提供优质稳定的原料，减轻精馏工段的负荷，有利于提高产量和降低产品的能源单耗。
二氯二氢硅沸点只有8.3℃，自燃稳定58℃，为强腐蚀性有毒气体，在空气中发生反应产生白色烟雾，遇明火、高热会发生燃烧或爆炸，不易现场长期储存，因此二氯二氢硅的回收及利用不仅可以有效的消除安全隐患，而且可以一定程度降低生产成本。
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