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技术要求 | 商业级 | 精密级 | 高精密级 |
尺寸范围 | 1-300mm | 2-300mm | 2-300mm |
尺寸公差 | 土0.1mm | 土0.025mm | 土0.01mm |
厚度公差 | 土0.1mm | 土0.025mm | 土0.01mm |
角度公差 | ±3´ | ±30´´ | ±5´´ |
表面质量 | 60-40 | 40-20 | 20-10 |
表面精度 | 1.0λ | λ/10 | λ/20 |
镀 膜 | 3-5μm T >97% | ||
倒 边 | 0.1-0.5mm*45° | ||
材 料 | 硅或其它晶体材料 | ||
- 产品详情
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