产品名称:CCD型系列气动超高真空插板阀
产品介绍:
CCD型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,驱动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
详细说明
► 主要技术性能 |
适用范围(Pa) | 105~1.3x10-7 |
阀门漏率(Pa.L/S) | DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7 |
阀门烘烤温度(℃) | ≤150(Except the drive device) |
开阀时阀板两侧压力差(Pa) | ≤2.7x103 |
阀板密封件 | 氟橡胶 |
主轴密封用密封材料 | 不锈钢波纹管 |
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