可变形反射镜

可变形反射镜

Mini-DM

自适应光学：

先进的波前控制以MEMS变形镜产生更高的对比度，高分辨率成像。波阵面成形是通过矫正高阶像差引起的光学限制，大气湍流，组织不均匀性。BMC的MEMS变形镜提供的调整和控制，大大提高成像精度。

DM 规格：

·32个致动器(6×6数组4角没有)

·涂料:铝、金或银的保护

·保护窗口350 - 700 nm,400 - 1100 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR

·零滞后现象

·Sub-nm平均步长

·填充系数> 99%(DM)，98%(SLM)

·表面光洁度:< 30 nm RMS

驱动规格：

·*驱动和控制通过USB 2.0接口

·14位步分辨率

·帧率:8 kHz， 34 kHz破裂

·尺寸:4“×5.25“×1.2”

软件规格：

·Windows XP / 7,Linux操作系统兼容

·包括基本操作软件

·C / C++,Matlab和虚拟仪器驱动程序包括在内

·Linux驱动程序可用

·虚拟仪器测试软件

Multi-DM

DM 规格：

·140 致动器(12×12数组4角没有)

·涂料:铝、金或白银的保护

·防护窗350 - 700 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR涂层

·零滞后现象

·Sub-nm平均步长

·填充系数> 99%(DM),98%(SLM)

·表面光洁度:< 30 nm RMS

驱动规格：

·USB 2.0接口

·120 - 240 VAC输入

·14位步分辨率

·帧率:8 kHz ，34 kHz破裂

·尺寸:9“×7“×2.5”

492-DM

MEMS变形反射镜

MEMS变形镜目前在许多AO应用鉴于其多功能性，技术的成熟，和他们的高分辨率波前校正功能。使用先进的，廉价的制造技术，MEMS DMs性能优势是微加工:

1. 巨大的致动器阵列创造高分辨率波前校正

2. 先进的微观结构允许最小影响相邻驱动器对高空间频率的表面

3. 优化设计使快速波阵面形成为高速应用

DM 规格：

·连续(DM)或分段(SLM)表面

·492致动器（24通过一个圆形的孔径）

·涂料:铝、黄金或银的保护

·防护窗400 - 1100 nm,1550nm或550 - 2400 nm AR涂层

·零磁滞

·填充系数> 99%(DM),98%(SLM)

·Sub-nm平均步长

·表面光洁度:< 30 nm RMS

·Stroke: 1.5 μm, 3.5 μm

·孔径6.9毫米,9.2毫米

·Pitch:300μm，400μm

·约.机械响应时间 (10% - -90%):< 20μs

·约.Interactuator耦合(±5%):15%

驱动规格：

·DIO 接口:SFP光纤连接通过PCIe接口Card

·14位步分辨率

·帧率:34千赫/ 60 kHz(低延迟)

·响应时间:30μs / 17μs(低延迟)

·能耗:< 40 W

·尺寸:5.25×14“×19(3 U底架)

Kilo-S-DM

Kilo-S-DM 规格：

·连续(DM)或分段(SLM)表面

·32致动器在平方有效孔径(1020合计)或34致动器在一个圆形有效孔径(952合计)

·Stroke:600nm

·涂料:铝、金或银的保护

·保护窗口，“AR”涂层

·零磁滞

·填充系数> 99%(DM),98%(SLM)

·Sub-nm平均步长

·表面光洁度:< 20 nm RMS

S-Driver 规格：

·DIO接口:SFP光纤连接(2.5 Gbps)通过PCIe card

·延迟:22.7µs

·帧率:60 kHz

·分辨率:12位

·平均电压步长:14 mV

·尺寸:3.5×14“×19(3U底座为19“机架)

Kilo-SLM性能测试

线阵列 DM

DM规格：

·96x1或48 x2致动器

·长度:28毫米/ 12毫米

·宽度:1.8毫米/ 800μm

·零磁滞

·Sub-nm平均步长

·填充系数> 99%(DM),98%(SLM)

驱动规格：

·USB 2.0接口

·14位步分辨率

·帧率(延迟):8 kHz(125µs)，34KHz(32µs)破裂

·尺寸:9“×7“×2.5”