纳米位移平台

3-Axis PiezoBlock系列

特点：

在75V电压驱动下在X, Y, & Z方向进行90微米的压电运动

各带有9个安装孔的三个安装表面

小尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm)

弯曲设计提供了平滑持续运动和高硬度

高共振频率减小了外部振动的影响

可选应变式传感器提供好的重复性（ 50纳米）

6-Axis NanoMax系列

特点：

移动范围：4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)

闭环工作时压电驱动可选

高分辨率：50nm & 0.3 Arcsec（手动）, and 10nm & 0.06 Arcsec（压电驱动）

高硬度

高共振频率：>130Hz (10%)

主动热补偿

低成本