型号规格

CS-153: 无冷却单元
CS-153C: 冷却单元一体型

测量样品

FPM(HF/H2O2药液)

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算原理

温度补偿型多变量解析法

测量范围

HF: 0.00至10.00%
H₂O₂: 0.00至10.00%
H₂O: 80.0至100.0%
如需其它量程信息，请与HORIBA联系。

再现性
(峰-峰)

TMAH: ± 0.30%
H₂O₂: ± 0.30%
H₂O: ± 2.0%

药液条件

CS-153:
温度: 20至30°C
流量: 20至60 mL/min.
压力: 0.10至0.20 MPa
CS-153C:
温度: 20至80°C
流量: 20至40 mL/min.
压力: 0.10至0.20 MPa

测量周期

最小约 2 秒
(不包含药液的置换时间和冷却时间)

设备温度

20 至25°C

操作面板

1) 温度值显示: HF、过氧化氢、水
2) 报警信号的显示(HF、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上-上限
3)报警信号值的设定(HF、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限，浓度上限、浓度上-上限

串行输入/输出

RS-232C
1) 浓度数据: HF、过氧化氢
2)报警信号值的设定(HF、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限、浓度上限、浓度上-上限
并行输入DC12〜30V(光电耦合器绝缘)
并行浓度报警(ON/OFF)

并行输出

开路集电极输出为ON 时的电流：5mA
开路集电极输出为OFF时的电压：30V
1)报警信号输出(TMAH、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限、浓度上限、浓度上-上限
2)装置异常
3)漏液

模拟输出

4〜20mA(2输出：TMAH浓度、H₂O₂浓度的2输出)
*与量程规格技术规格无关，可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时)

电源

24 V DC ± 10%, 2 A

外形尺寸

CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
CS-153C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

重量

CS-153: 约11 kg
CS-153C: 约12 kg

连接配管尺寸

导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm )

配管接头

Nippon Pillar Super型