隔膜压缩机是一种特殊结构的容积式压缩机。它的气缸不需要润滑，密封性能好，压缩介质不与任何润滑剂接触，在压缩过程中不会产生任何污染，因此可以压缩纯度要求极高的气体，能达到99.999%以上的纯度。隔膜压缩机特别适用于珍贵稀有气体的压缩、输送、装瓶，另外对于腐蚀性极强、有毒有害、易燃易爆、有放射性的气体，也适宜采用隔膜压缩机。隔膜压缩机工作缸散热性能良好，接近等温压缩，可以采用较高的压缩比，因而它能提供的压力范围较广，可以通过很少的级数达到很高的压力。隔膜压缩机应用于工业气体、食品医药、石油化工、核电、航空航天、军事装备、科研试验等领域。

 靠隔膜在气缸中作往复运动来压缩和输送气体的往复压缩机。隔膜沿周边由两限制板夹紧并组成气缸，隔膜由机械或液压驱动在气缸内往复运动，从而实现对气体的压缩和输送。采用橡胶或塑料制的隔膜且由机械驱动的压缩机，只适用于排气量为数立方米每小时和排气压力为1.2兆帕左右的场合,一般制成为单级或两级的。

隔膜式压缩机 是一种特殊结构的容积式压缩机，具有压缩比大、密封性好、压缩气体不受润滑油和其它固体杂质所污染的特点。因此适于压缩高纯度、稀有贵重、易燃易爆、有毒有害、具有腐蚀性以及高压等气体。

 采用金属隔膜并由液力驱动的压缩机比较常见,其排气量可达100米3/小时，多级压缩的排气压力可超过100兆帕，适用于各种气体的输送和加压，也可用作无油润滑压缩机之后的增压压缩机。金属隔膜的厚度一般取0.3～0.5毫米。隔膜的寿命取决于选用的材料及其表面粗糙度。由于液压驱动的运动质量较大，液压部分的活塞平均速度只能取2米/秒,因而机器的转速通常在300～500转/分的范围内。隔膜压缩机的气缸工作容积表面积与气缸体积的比值比往复活塞压缩机大得多，气体的压缩接近于等温过程，故每级的压力比可高达25。适合于小排气量时的各种用途。如用作小型供气装置、气动调节器、水族馆饲养池的通气装置，以及化学工业中无油、有毒、有腐蚀性、贵重的或有放射性气体的输送和加压。