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一、产品概述：
HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
二、HMDS 预处理系统的应用领域：在匀胶前的硅片等基片表面均匀涂布一层HMDS。作用：降低HMDS处理后的硅片接触角，进而降低匀胶 时光刻胶在硅片表面铺展开的难度，提高光刻胶与硅片的黏附性，降低光刻胶的用量。
三、HMDS 预处理系统的原理： 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
四、HMDS 预处理系统的一般工作流程：
1.首先设定烘箱工作温度。
2.打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一真空度后
3.开始充人氮气，充到达到某一低真空度后，
4.再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，
5.开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。
6.然后再次开始抽真空，
7.加热HMDS管道，
8.充入HMDS气体到达设定时间后，停止充入HMDS药液，
9.三面加热箱体使温度达到150度左右
10.进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。
11.当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。
12.充入氮气，完成整个作业过程。
说明：去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表面生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻（三甲基硅烷基较大）阻止其进一步反应
五、 尾气排放等：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。 在无专用废气收集管道时需做专门处理。
六。 主要技术指标：
6.1 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为医用专用不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
6.2 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。
6.3 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温**，可靠。
6.4 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。
6.5 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用**材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。
6.6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。
6.7 低液报警装置，采用国际**的红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）
6.8 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）
6.9整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用专用不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）
七、整机尺寸、真空腔体尺寸：
7.1 内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
7.2 载物托架：2块
7.3 室温+10℃-250℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃
7.4 真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，
7.5 加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）
7.6 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。
7.7开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）；
八。 安全保护措施：
8.1安全可靠的接地保护装置；工作室超温保护； 加热器短路保护。
8.2 电源缺相、错相、漏电、短路保护；
8.3 独立的工作室超温保护（温度上限保护）；
8.4加热器短路及过载保护；
8.5 低液报警装置（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）
8.6 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反
加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）
8.7整个箱体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体外泄对人体的伤害）
8.8 HMDS气体管路采用一体成型进口SUS316医用专用不锈钢材料（避免腐蚀外泄）。
8.9 提供HMDS换液专用防护罩。
合肥真萍电子科技有限公司是专业的从事环境与可靠性试验设备及实验 室仪器,防潮防氧化专业设备，烘烤制程设备等产品专业供应商，由一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备行业的专业工程技术人员为核心，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。
公司主要生产和经营:
环境与可靠性试验设备:高低温试验箱，恒温恒湿箱，老化箱，快温变化箱，
环境与可靠性试验设备:高低温试验箱，恒温恒湿箱，老化箱，快温变化箱，
霉菌试验箱，盐雾腐蚀试验箱;
防潮防氧化专业设备:防潮箱、氮气柜、洁净氮气柜、恒温恒湿柜、氧浓度控制
柜、真空柜、环境温湿度监控;PP/PVC氮气柜;
烘烤制程设备:HMDS涂胶烤箱、红外/热风烘箱、电脑光刻固化无氧烤箱、充氮
烤箱、电脑式真空干燥箱、可编程洁净多腔体烘箱、隧道烘箱、
电脑无氧烤箱、高温烤箱、等服务。
本公司自成立之初，一直秉承客户至上的服务理念，满足客户持续增长的需求，不断为客户提供品**良、价格合理的产品，降低客户的生产成本，提高客户的竞争力，为客户创造价值
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