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种频率选件:1MHz至500MHz/1GHz/3GHz,可升级
±0.65%基本精度和120m?至52k?阻抗范围(10%测量精度范围)
测量参数:|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1.需要选件001)
内置直流偏置(选件001):0V至±40V,0A至±100mA
10.4英寸彩色LCD触摸屏可显示4个通道和4条迹线
数据分析功能:等效电路分析、极限线测试
介电/磁性材料测量(选件002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
温度特征测量(选件007)和可靠的晶圆上测量(选件010)功能