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具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及制作方法 中华人民共和国国家知识产权局 2012-10-17 永久
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微纳感知（合肥）技术有限公司 地址：安徽省合肥市高新区火龙地路与云飞路交口中安创谷科技园D6栋技术支持：世环通

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