产品介绍：

hhc1000微热板芯片基于mems制造技术，用于mems气体传感器。采用悬膜式结构，功耗低，可靠性高。集成微型加热器和叉指电极，微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度，叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。

产品特性：

小尺寸、低功耗、长寿命、高灵敏

应用领域：

气体传感器