wn-1002超灵敏voc mems气体传感器基于mems工艺在si基衬底微加热板上涂覆敏感材料制备而成。其使用的敏感材料在洁净空气下具有较低的电导率，当传感器处于目标气体环境中，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。使用检测电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。本产品采用 mems 工艺，具有尺寸小，功耗低，响应恢复快，驱动电路简单，稳定性好，寿命长，结构坚固，抗震性好等特点。相较于常规产品，本产品具有超高灵敏性，最低可检测10ppb浓度的voc气体。