空气经压缩机压缩后，经主管过滤器后，由冷冻式干燥机进行深度除水，经除油水过滤后进入吸附式干燥机（制氧机）进行深度处理，再进行粉尘过滤。使气源露点达到要求的-50℃以下，再经除尘过滤器使粉尘颗粒度小于0.1μm，成为合格的原料气源。由压力表显示压缩空气的供气压力。
合格的原料气源经减压阀进入臭氧发生器，在臭氧发生器的中频高压电场内，含氧量气通过电晕放电变成臭氧，产品气体为臭氧化气体，通过压力气体投加到氧化池中，反应后的余臭氧通过尾气分解器催化分解排到大气中。