三氟化氮催化剂使用多种活性金属氧化物制备而成，主要用于处理碳氟、氮氟等相关的pfc气体，例如nf3、sf6、cf4、c4f6、c5f8等， 是国内唯一可合成此催化剂的企业。

三氟化氮催化剂:

1. 反应温度： nf3:    400度

                      c4f6：500度

                      c5f8：500度

                      sf6：  700度

                      cf4：  800度

2. 应用方式：

3. 催化系统：

常用废气吸附剂：