低温等离子技术净化机理包含两个方面：一是在产生等离子体的过程中，高压脉冲放电所产生的瞬间高能可直接打开一些有机气体分子的化学健，使之分解；二是通过高压脉冲放电产生等离子体，包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和有机分子结合，在电场作用下，使有机分子处于激发态。当有机分子获得的能量大于其分子键的结合能时，有机分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大·oh、·ho2、·o等活性自由基和强氧化性的o3，分解有机气体分子，最终生成h2o和co2等无害物质。
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