干式螺杆真空泵主要采用一对螺杆，其特点是两个螺杆经过精细动平衡校正后安装在泵壳内，由轴承支撑，螺杆之间有一定间隙。因此，干式螺杆真空泵在工作时，两者之间没有摩擦，运行稳定，噪音低，工作腔不需要润滑油。干式螺杆泵可在含有大量水蒸气和少量灰尘的场合泵出气体，极端真空度较高。然而，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格昂贵。

干式螺杆真空泵是一种抽气装置，它利用一对螺杆在泵壳内同步高速反向旋转，产生吸入和排出。它的优点弥补了油封真空泵的缺点。我们都称之为油封真空泵的升级版。但干式螺杆真空泵的成本也是其不足之处。接下来，我们将主要介绍其优缺点：

1、工作室和螺杆转子表面均涂有防腐涂层，可适应恶劣的工作条件

2、泵内气体未被压缩，因此适合抽取可凝气体

3、无油耗、无滴水

4、结构简单，维护方便。

5、泵送气体直接从泵体排出，不污染水，无环境压力，更便于气体回收。

干式螺杆真空泵的缺点

1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格昂贵。

2、不适合抽出爆炸性气体。

3、不适合抽出含氧量高的气体。

随着我国工业的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造业中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的油真空泵已不能满足这种要求。螺杆式干式真空泵以其泵速范围宽、结构简单紧凑、泵室部件无摩擦、使用寿命长、能耗低、无油污染等优点，受到越来越多制造和应用单位的重视。在干式真空泵市场占有重要地位。在欧美、日本等发达国家，螺杆式干式真空泵在许多领域日益取代传统的油泵。