干式真空泵是指泵在正常压力下可以启动泵送，泵送的气体可以直接排入大气。机械真空泵，泵腔内无油或其他工作介质，压力等于或接近油封真空泵。

对于普通的无油真空系统，虽然可以使用油封真空泵和附件来防止回流，但它们不能完全解决问题并使系统复杂化。使用合适类型的干式真空泵可以达到预期效果。

干式真空泵应用广泛，主要有以下几个方面：

1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺；

2、半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中，经常使用干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒；

3、对于除半导体工艺外产生颗粒的某些工艺，预计颗粒不会混合到干式真空泵的泵油中，预计颗粒将从泵中排出。某些型号的干式机械真空泵可以满足要求；

4、化工、制药、食品等行业在蒸馏、干燥、脱气和包装过程中，应防止有机溶剂造成的污染，并应使用干式真空泵；

5、干式真空泵用作一般无油清洁真空系统的前泵，以防止油污染。